High precision air floating platform system

高精(jīng)密氣浮平台系統

高精(jīng)密氣浮平台系統

High precision air floating platform system

 産品介紹:

C9000H直線(xiàn)電(diàn)機驅動空氣軸承平台在垂直表面和水平表面一并采用(yòng)了有效的預加載處理(lǐ)。它可(kě)提供突出的高剛性,是重載和偏置負載應用(yòng)的理(lǐ)想選擇。内置的直線(xiàn)伺服電(diàn)機采用(yòng)了零齒槽效應的無鐵芯結構,無吸引力,提供非常卓越的平滑運動。

 

性能(néng)指标:

行程範圍:  50 mm\ 100 mm\ 200 mm\ 300 mm\ 400 mm\ 500 mm  
驅動系統:  直線(xiàn)伺服電(diàn)機 (PAEKER-9000-A-668H)
反饋:  非接觸直線(xiàn)光栅尺
分(fēn)辨率: 0.001 μm -0.2 μm  
最大行程速度:  3m/s (80 in/s)
最大直線(xiàn)加速度:  2 g -20 m/s2  (無負載)
最大負載:  55.0 kg
連續保持推力:  153.6 N
峰值推力:  742.8 N
全行程精(jīng)度:   ±0.2 μm ~ ±20.0 μm   
重複定位精(jīng)度:  ±0.1 μm~±0.3 μm 
直線(xiàn)度和平面度: 最大偏差  ±0.25 μm ~ ±2.0 μm
傾斜度/滾擺/偏擺: ±0.5 arc sec ~ ±5 arc sec 
空氣軸承工作(zuò)壓力: 80 psi (5.5 bar) ±5 psig (0.3 bar)
空氣消耗量: <2 scfm
平台質(zhì)量: 120.7 kg ~ 156.5 kg